一、拆卸前準(zhǔn)備

• 安全斷電：關(guān)閉控制系統(tǒng)與電源，拔下電源線；確認(rèn)電源指示燈熄滅，等待3-5 分鐘讓高壓電容放電。

• 清理臺(tái)面：移除樣品與夾具，清潔臺(tái)面，防止異物墜落與刮傷。

• 拆除連接線：小心斷開(kāi)臺(tái)面與控制箱的信號(hào)線與電源線，做好標(biāo)記以便復(fù)原。

• 準(zhǔn)備工具與防護(hù)：

  • 專(zhuān)用起吊設(shè)備（承重≥臺(tái)面重量的1.5 倍）

  • 四支等長(zhǎng)吊索（直徑≥10mm）

  • 扭矩扳手（校準(zhǔn)至說(shuō)明書(shū)指定值，通常8-10N·m）

  • 水平儀（精度≥0.02mm/m）

  • 防護(hù)手套、護(hù)目鏡

二、拆卸步驟

• 起吊準(zhǔn)備：

  • 確認(rèn)臺(tái)面兩側(cè)的四個(gè) Φ40mm 起吊孔清潔無(wú)變形。

  • 將吊索分別套入起吊孔，確保受力均衡，避免傾斜。

• 分離定位銷(xiāo)：

  • 緩慢起吊，垂直提升約5cm，使臺(tái)面脫離底架定位銷(xiāo)；嚴(yán)禁傾斜或側(cè)向拉動(dòng)。

  • 觀察定位銷(xiāo)與定位孔分離狀態(tài)，確認(rèn)無(wú)卡阻后繼續(xù)提升。

• 

• 吊運(yùn)與存放：

  • 平穩(wěn)移動(dòng)至清潔區(qū)域，避免碰撞；下方嚴(yán)禁站人。

  • 放置在專(zhuān)用支架或減震墊上，保持水平，防止變形。

三、安裝步驟

• 臺(tái)面檢查與清潔：

  • 檢查臺(tái)面底部定位孔與表面，確保無(wú)變形、裂紋、毛刺。

  • 清潔臺(tái)面與底架接觸面，去除灰塵與油污；必要時(shí)用無(wú)水乙醇擦拭。

• 精準(zhǔn)定位安裝：

  • 起吊臺(tái)面，對(duì)準(zhǔn)底架上的六個(gè)定位銷(xiāo)（X/Y/Z 軸各兩個(gè)）。

  • 緩慢垂直下降，使定位銷(xiāo)落入定位孔，避免磕碰。

  • 輕觸到位后，先不松吊具，進(jìn)行初步檢查。

• 均勻緊固：

  • 按說(shuō)明書(shū)要求的順序與扭矩（通常8-10N·m）緊固臺(tái)面螺栓；建議采用十字交叉法，分次逐步擰緊。

  • 使用扭矩扳手確保緊固均勻，防止受力不均導(dǎo)致振動(dòng)不均。

• 水平校準(zhǔn)：

  • 將高精度水平儀置于臺(tái)面中心，沿X 軸、Y 軸方向依次校準(zhǔn)。

  • 調(diào)節(jié)底架地腳螺栓，使氣泡居中，水平度誤差控制在0.05mm/m 以內(nèi)（設(shè)備要求0.01mm/m）。

  • 多點(diǎn)復(fù)測(cè)（四角與中心），確保臺(tái)面全域水平。

• 電氣連接與接地：

  • 按標(biāo)記接回信號(hào)線、控制線與電源線，確保接觸良好。

  • 檢查電磁屏蔽層連接與接地，確保接地可靠（阻抗 <4Ω）。

四、關(guān)鍵注意事項(xiàng)

• 禁止事項(xiàng)：

  • 未斷電或未等待3-5 分鐘就拆卸電氣連接。

  • 使用非專(zhuān)用工具或起吊設(shè)備進(jìn)行拆裝。

  • 臺(tái)面傾斜、碰撞或劇烈振動(dòng)。

  • 不按順序或超扭矩緊固螺栓。

• 精密部件保護(hù)重點(diǎn)：

  • 定位銷(xiāo) / 孔：防止變形與損傷，確保同軸度與垂直度，這是軸間精度的關(guān)鍵。

  • 電磁驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：避免撞擊臺(tái)面底部，防止動(dòng)圈偏移與磁場(chǎng)不均。

  • 冷卻系統(tǒng)：安裝時(shí)避免擠壓或彎折冷卻管道，確保散熱正常。

五、安裝后驗(yàn)證

• 空載運(yùn)行檢查：

  • 啟動(dòng)前檢查所有連接與防護(hù)裝置，確認(rèn)無(wú)誤。

  • 以低振幅（≤1mm）、低頻（5-10Hz）運(yùn)行3-5 分鐘，觀察是否有異常噪音、振動(dòng)不均或過(guò)熱。

  • 停機(jī)后再次檢查螺栓緊固情況。